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本发明内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器属于微纳光电子技术领域；该压力传感器由基底层(1)、矩形金属层(2)、直波导(3)、等边三角形谐振腔(4)和椭圆形金属块(5)组成；所述基底层(1)位于最下端，矩形金属层(2)和直波导(3)依...
该专利属于黑龙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过黑龙江大学授权不得商用。

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