内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器制造技术

本发明专利技术内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器属于微纳光电子技术领域；该压力传感器由基底层(1)、矩形金属层(2)、直波导(3)、等边三角形谐振腔(4)和椭圆形金属块(5)组成；所述基底层(1)位于最下端，矩形金属层(2)和直波导(3)依次紧挨设置，并紧贴于基底层(1)上方，所述等边三角形谐振腔(4)位于矩形金属层(2)上，椭圆形金属块(5)位于等边三角形谐振腔(4)上，圆心与等边三角形谐振腔(4)重心重合；本发明专利技术内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器具有结构简单，体积小，传感特性可调谐，灵敏度高的技术优势。灵敏度高的技术优势。灵敏度高的技术优势。

【技术实现步骤摘要】
内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器


[0001]本专利技术内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器属于微纳光电子


技术介绍

[0002]表面等离子体激元是一种沿着金属与电介质分界面传播，并在分界面的垂直方向呈指数衰减的电磁倏逝波，具有突破传统衍射极限和电场约束等性能。
[0003]作为典型的基于表面等离子体的波导结构，金属
‑
介质
‑
金属结构具有对光高约束和易于制造等特点，因此，基于表面等离子体激元的金属
‑
介质
‑
金属结构被应用在了不同的光子元件中，如光开关、波分复用器、滤波器等。
[0004]目前，不同基于表面等离子体激元的金属
‑
介质
‑
金属结构的传感器被设计用于感知周围介质浓度，环境温度和折射率变化，并在此基础上设计出了高灵敏度和品质因子的传感器，如果将其用于压力传感，可以突破传统压力传感器结构复杂，体积大，测量范围不可调谐而影响其应用范围的问题。

技术实现思路
/>[0005]为了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器，其特征在于，由基底层(1)、矩形金属层(2)、直波导(3)、等边三角形谐振腔(4)和椭圆形金属块(5)组成；所述基底层(1)位于最下端，矩形金属层(2)和直波导(3)依次紧挨设置，并紧贴于基底层(1)上方，所述等边三角形谐振腔(4)位于矩形金属层(2)上，椭圆形金属块(5)位于等边三角形谐振腔(4)上，圆心与等边三角形谐振腔(4)重心重合。2.根据权利要求1所述的内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器，其特征在于，所述基底层(1)选用硅材料，所述矩形金属层(2)和椭圆形金属块(5)选用银材料。3.根据权利要求1或2所述的内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器，其特征在于，所述矩形金属层(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：高扬，张景煜，冯恒利，刘畅，房冬超，王金成，张作鑫，王乐慧，
申请(专利权)人：黑龙江大学，
类型：发明
国别省市：