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可集成的高压VDMOS晶体管结构制造技术
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文档序号:3224337
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本实用新型公开了一种可集成的高压VDMOS晶体管结构及其制备方法。其结构采用在N型外延层4与衬底1的界面上设有N型埋层2,在N型外延层上设有P型体沟道区11和深N+扩散区5及P型阱6,该P型体沟道区的四周设有P型场限环7,该P型体沟道区的内...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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