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下载压力旋臂结构的技术资料

文档序号:3224281

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本实用新型提供一种压力旋臂结构,其包含一旋臂本体,两端分别设有一枢接部以及一持固部,供晶片研磨机套设入;一感应体,设于上述旋臂本体下端,为具高应力、高应变强度的单一块体,其侧面处开有一透孔,沿透孔薄壁中线的块体上、下端面处设有应变组件;如上...
该专利属于童德黉;童德观所有,仅供学习研究参考,未经过童德黉;童德观授权不得商用。

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