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本发明公开了一种新型的流量传感器芯片，包含：加热部件、上游部件、下游部件、隔离薄膜件和传感器基体；加热部件连接至隔离薄膜件；上游部件包含靠近加热部件的热端和远离加热部件的冷端；下游部件包含靠近加热部件的热端和远离加热部件的冷端；被检测的气流...
该专利属于杭州至朗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州至朗科技有限公司授权不得商用。

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