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文档序号:3224062
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一种全自对准的多晶硅发射极双极晶体管.用发射极台面(7)的氧化侧壁(8)(侧壁隔离层)作为+[+]P基极接触注入的掩膜,可实现P+[+]基极接触(12)的自对准.采用与发射极台面(7)相同的多晶硅所确定的多晶硅对准台面(14)的氧化侧壁(1...
该专利属于ITT工业公司所有,仅供学习研究参考,未经过ITT工业公司授权不得商用。
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