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在一种真空化学反应设备中，许多挂片座是从一挂片架径向地伸展出来的．大量的基片安置在各个挂片座的几乎整个表面上．每一个挂片座的形状，从正视图上看是一多边形．...
该专利属于日电阿尼尔瓦株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日电阿尼尔瓦株式会社授权不得商用。

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