下载激光调控纳米压印对准装置及调控方法的技术资料

文档序号:32240056

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本发明公开了一种激光调控纳米压印对准装置以及调控方法,所述激光调控纳米压印对准装置包括壳体,设于壳体内的第一调准组件和第二调准组件以及检测组件。第一调准组件包括第一调准板和第一调节结构,第一调准板在第一调节结构的作用下可在x、y以及z方向上...
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