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一种在功率半导体元件的半导体薄片（５）边缘上开环形槽（８）的方法，该方法首先将边缘表面磨削，然后用边缘制成相应轮廓线的成形砂轮（３）一次操作开出槽（８）。采用粒度适度、结合方式适当的金刚砂粒制成的金刚砂轮可以获得高生产率。...
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