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复合氧化物超导薄膜制造技术
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文档序号:3223747
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一种用物理蒸镀法在Mgo、SrTiO-[3]或ZrO-[2]单晶基片上形成以Ln-[1]Ba-[2]Cn-[3]O7-x(Ln是镧系元素)、(La-[1]X+[α]x)-[2]CuO-[4](α是Ba或Sr)所表示的复合氧化物超导体薄膜的改...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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