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半导体异质结构制造技术
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文档序号:3223743
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一种半导体器件,由生长在含有60-65%锗的,(100)取向的SiGe衬底上的,硅和锗交替的单层短周期超晶格组成。硅单层是M单层厚,而锗层是N单层厚,其中M=2(2m+1),取m=0、1或2(优选为0),而N=2(2n+1),n=1、2、3...
该专利属于英国电讯公司所有,仅供学习研究参考,未经过英国电讯公司授权不得商用。
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