下载半导体异质结构的技术资料

文档序号:3223743

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体器件,由生长在含有60-65%锗的,(100)取向的SiGe衬底上的,硅和锗交替的单层短周期超晶格组成。硅单层是M单层厚,而锗层是N单层厚,其中M=2(2m+1),取m=0、1或2(优选为0),而N=2(2n+1),n=1、2、3...
该专利属于英国电讯公司所有,仅供学习研究参考,未经过英国电讯公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。