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一种镓在硅台面管生产中的应用技术，属于ＮＰＮ型硅台面高反压管生产工艺。将抛光、氧化后的硅片置于扩散炉里进行开管扩镓，先采用低浓度镓掺杂，结深推移，后表面高浓度镓掺杂，两者在同一炉内连续完成以形成Ｐ型基区，在磷扩散再分布后再进行低温短时间补镓...
该专利属于山东师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东师范大学授权不得商用。

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