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向成膜空间引入成膜材料化合物，如果需要引入含能控制沉积膜价电子的元素的化合物，形成半导体功能沉积膜，每一化合物处于气态或至少一种化合物是激活态，同时形成激发态氢原子。与成膜空间的气态的或激活空间中的激活态化合物发生化学反应，在基片上形成沉积...
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