温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种蚀刻硅材料的方法，它包括：ａ）提供所述硅材料；ｂ）用覆盖了自然氧化物的铝掩蔽所述材料的一部分，使其不被蚀刻；ｃ）用对于所述氧化物相对呈惰性的蚀刻剂蚀刻所述材料。所述蚀刻剂由氟化氢、硝酸和冰醋酸组成。...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。