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具有器件隔离区的半导体器件制造技术
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下载具有器件隔离区的半导体器件的技术资料
文档序号:3223516
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一种元件隔离及金属布线优于现有技术的半导体器件,其元件隔离结构包括形成在掺杂衬底上的元件区域、元件隔离区,以及形成在半导体基体表面上及其背面的金属布线。所述元件隔离区内形成有与金属布线相连、沿纵向延伸的金属淀积层,所述半导体基体借助于与基体...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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