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一种开管铝镓扩散工艺。本发明是属于高压大电流电力半导体器件生产领域中的一种扩散工艺。该工艺是由在硅片上涂布铝乳胶源扩散和开管镓扩散同步进行为特征的。整个扩散过程是在二氧化硅乳胶源经高温后形成的氧化膜及氮气（或惰性气体）保护下，于同一扩散炉内...
该专利属于山东师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东师范大学授权不得商用。

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