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本发明提供了一种方法和装置，用于监测多个半导体片或存储盘批料通过处理设备中的各种位置处的多个处理操作的进程，并保持与各个批料的进程有关的信息。承载器上嵌有应答器。该应答器带有编码，用于标明承载器和包含在其中的片或盘批料并进一步标明批料已经经...
该专利属于氟器皿有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过氟器皿有限公司授权不得商用。

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