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通过催化剂元素的作用在低温下使非晶硅膜晶化的方法中，本发明提供了自动地导入催化剂元素的工序的系统。在非晶硅膜的表面涂敷含有促进晶化元素的溶液时，可按１４～２１所示的单元进行必要的工序。此时，用机械手１２搬送基片。...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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