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制造半导体结构的方法技术
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文档序号:3223047
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制造半导体结构的一种优选的方法,包括改变一种外延基区双极晶体管(10)的基区层(17、21)中多晶晶界(38)的方向和使其位置最佳。通过淀积将形成较低的基区部分的基区层(17)后对半导体结构进行退火,可以实现晶界(38)的改变。改变晶界(3...
该专利属于摩托罗拉公司所有,仅供学习研究参考,未经过摩托罗拉公司授权不得商用。
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