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一种低功率消耗型薄膜气体传感器及其制造方法。该气体传感器包括一个在其一侧的中部有一窗口的硅衬底、在硅衬底一侧上形成了除了窗口以外的掩模材料、在衬底另一侧上由一个腐蚀停止层和一个玻璃膜形成的支承膜、在支承膜上面对窗口并列配置的加热器和温度传感...
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