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内联式非晶硅太阳能电池及制造方法技术
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文档序号:3222990
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本发明涉及内联式非晶硅太阳能电池的制造方法属半导体器件制造技术,具体地说是一种内联式集成型非晶硅太阳能能电池及制造方法按顺序包括下列步骤:选择玻璃-制造复合透明导电膜-丝印正电极保护膜-腐蚀导电膜-去除保护膜,清洗干燥-沉积非晶硅薄膜-激光...
该专利属于李毅所有,仅供学习研究参考,未经过李毅授权不得商用。
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