下载半导体集成电路的制造方法的技术资料

文档序号:3222882

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在含有预定导电类型杂质的半导体衬底本体的主表面上形成一个外延层,它含有导电类型与前述杂质相同的杂质而杂质浓度和指定的一种前述杂质的浓度相同。其后,形成一个阱区,其导电类型与上述杂质相同而其杂质浓度沿上述外延层的深度逐渐降低。阱区形成有MIS...
该专利属于川越纮人;白须辰美;清田省吾;铃木范夫;山田荣一;杉野雄史;北野学;桜井义彦;长沼孝;荒川久所有,仅供学习研究参考,未经过川越纮人;白须辰美;清田省吾;铃木范夫;山田荣一;杉野雄史;北野学;桜井义彦;长沼孝;荒川久授权不得商用。

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