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半导体器件及其制作方法技术
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文档序号:3222877
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一种半导体器件,其中在接触孔内确保了有效表面积,并且其中存储电极精确地构成方角图样。在接触孔内的有效表面积可以通过存储电极接触孔与一部分存储电极重叠而获得,以便保证较大容量。朝向最后存储电极使有效表面积减小的矩形存储电极的圆角可通过在接触孔...
该专利属于现代电子产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过现代电子产业株式会社授权不得商用。
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