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一种抛光金属和二氧化硅复合体的组合物，包括水介质，磨料颗粒，一种氧化剂和一种或多种抑制去除二氧化硅速率的化合物，其中该化合物的每种含有至少两个酸基团，且其中第一种可离解酸的ｐＫａ不明显大于抛光组合物的ｐＨ。...
该专利属于罗德尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗德尔公司授权不得商用。

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