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一种箱法硼微晶玻璃源浓硼扩散的方法技术
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文档序号:32225963
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本发明提供了一种箱法硼微晶玻璃源浓硼扩散的方法,包括:S1)将硼微晶玻璃进行高温预处理,得到预处理后的硼微晶玻璃;S2)将预处理后的硼微晶玻璃与待扩散处理的硅片层叠放置,加热进行扩散处理,得到处理后的硅片;所述待扩散处理的硅片的正面与预处理...
该专利属于成都亚光电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都亚光电子股份有限公司授权不得商用。
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