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具有分级位线结构的半导体存储器件制造技术
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下载具有分级位线结构的半导体存储器件的技术资料
文档序号:3222543
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一种半导体存储器包含半导体衬底(10)、许多子位线对(SBL11、SBL11-SBL44、SBL44)、在子位线对之上的层上形成的主位线对(MBL1、MBL1)许多选择晶体管、与子位线对交叉的许多字线和许多存储单元。每个选择晶体管相应于一条...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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