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在制造薄膜晶体管（ＴＦＴ）中，在玻璃衬底上形成氧化硅膜作为底膜，然后在其中形成非晶硅膜。设置与非晶硅膜表面接触的促进硅结晶的金属元素，在高于非晶硅膜的结晶温度的温度热处理非晶硅膜。热处理时，把玻璃衬底放在有恒定平整性的基体上。通过冷却，获得...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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