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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3222419
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在形成于半导体基板上边的基底绝缘膜的上边形成由下部电极、由强电介质构成的陶瓷电容器膜和上部电极构成的强电介质电容器。在半导体基板的上边形成层间绝缘膜,使得把强电介质电容器覆盖起来,并在层间绝缘膜的上边形成电极布线。在存在于上部电极的侧面和陶...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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