下载沟槽型DMOS晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:3222408

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一种沟槽型DMOS晶体管及其制造方法,该晶体管包括:由第一区10和第二区12构成的半导体底基;第二导电型的扩散层14,延伸到上述第二区12上部,以规定距离形成的多个沟槽;高浓度杂质注入层16;栅极氧化膜18;多晶硅膜20。晶体管工作时,形成...
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