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内联式超薄弱光型非晶硅光电池生产线制造技术
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文档序号:3222384
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本发明一种内联式超薄弱光型非晶硅光电池生产线,其特征在于,上述在线生产设备概括为集成透明电极制造单元、集成非晶硅膜制造单元、集成铝背电极制造单元、切片测试单元,应用磁控溅射、化学汽相沉积、激光、电子计算机、自动控制、等离子体沉积、真空蒸镀、...
该专利属于李毅所有,仅供学习研究参考,未经过李毅授权不得商用。
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