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一种在基片上形成突出部（７３）的方法和装置，包括将掩模（１２）定位于基片（１３）上，掩模具有开口（１５），在需要形成突出部的位置（１７）露出基片。产生一等离子体（５７），将用以形成突出部的颗粒或小粒（６９）引入等离子体，通过后者变换为液态或...
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