下载薄膜半导体器件的技术资料

文档序号:3222281

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一种在玻璃基片上形成的能提高薄膜晶体管工作特性和可靠性的薄膜半导体器件。该薄膜半导体器件具有在含有碱性金属的玻璃基片1上形成的薄膜晶体管3。玻璃基片1被缓冲层2覆盖。在这个缓冲层2上形成的薄膜晶体管3具有作为有源层的多晶半导体薄膜4。该缓冲...
该专利属于索尼株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过索尼株式会社授权不得商用。

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