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高压金属氧化物硅场效应晶体管结构制造技术
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文档序号:3222263
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一种制造高压MOSFET的方法,包括:在半导体衬底中形成第一和第二导电阱;在所述第一和第二导电阱中分别形成漂移区;在所述第一和第二导电阱之间的衬底表面上生长隔离膜;形成栅绝缘膜;在第一和第二导电阱上的栅绝缘膜上形成栅;在与所述栅邻近的那部分...
该专利属于LG半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG半导体株式会社授权不得商用。
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