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一种静电式夹盘，其能应用于如外延装置或刻蚀装置，用于静电式夹持半导体衬底或晶片。夹盘包括用于静电式在其上保持晶片的一平台。多升降针杆能够提升以上推晶片。安置在平台上的多释放针杆用于上推晶片的周缘部分。多驱动机构分别在晶片允许的弹性变形范围内...
该专利属于日本电气株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电气株式会社授权不得商用。

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