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公开了一种由碳化硅制造外部效率增加了的发光二极管的方法，该方法包括在碳化硅一部分的一个方向上导向一激光束，和激光足以使得它撞击的碳化硅气化，藉此形成碳化硅部分的切割线；然后，干法刻蚀碳化硅部分以除去激光切割碳化硅部分时产生的副产品。也公开了...
该专利属于克里公司所有，仅供学习研究参考，未经过克里公司授权不得商用。

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