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一种用于设计半导体集成电路制造厂的半导体模块式制造单元系统，其包括一模块式制程单元，该单元包含独立的洁净室空调系统模块、半导体制程设备、模块内晶片输送系统，晶片取放系统、电脑控制单元、维修单元连接系统和管路系统，该晶片输送系统包含有晶片匣、...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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