半导体模块式制造单元系统技术方案

一种用于设计半导体集成电路制造厂的半导体模块式制造单元系统，其包括一模块式制程单元，该单元包含独立的洁净室空调系统模块、半导体制程设备、模块内晶片输送系统，晶片取放系统、电脑控制单元、维修单元连接系统和管路系统，该晶片输送系统包含有晶片匣、搬运车和轨道，于该模块式制程单元之间进行晶片或产品的输送；以及活动式维修单元和桥式连接系统。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种新的半导体集成电路制造厂(Semiconductor Manufacturing Factory)及其他任何相容(Compatible)产品制造厂的设计(Design)及其建造方法和结构(Method and Structure) 。传统半导体制造厂的设计是按照一个制造厂产能的需要在一个传统的厂房中安装所有生产必须的设备，其中最昂贵的部分是一大间如“舞厅”，有严谨的温度、湿度和洁净度控制的洁净室。在此洁净室中放置所有有关的制程设备，洁净室上层是空调，洁净室气源，洁净空气入气滤网等设备，洁净室两旁则为宽广的回风通路，洁净室下方则为高架地板(Grid Floor)及一切厂务系统及供应管线，为了便利制程设备的维修，洁净室一般被切割出平行的维修通道(SeviceCore)，该通道网路阻碍了洁净室的连贯性成为厂内晶片产品传送的障碍，同时增加建厂的成本。由于半导体产品日新月异，产品及制程不断在改进及更新，随之而来是制造设备的增减及换新，无论是改变制程或扩充产能，传统厂房设计呈现不可避免的缺失，无论是对既有生产作业的变更或是更改既有厂房建造的费用上都是极其昂贵，另盖新厂更本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体模块式制造单元系统，其特征在于：其包括 形成一模块式制程单元，该模块式制程单元包含有独立的洁净室空调系统模块、半导体制程设备或任何制造系统、模块内晶片或产品输送系统，晶片或产品取放系统、电脑控制单元、维修单元连接系统和管路系统，且该数个模块式制程单元可以组合成模块式制程单元集合； 形成晶片或产品输送系统，该晶片或产品输送系统包含有晶片或产品匣、搬运车和轨道，于该模块式制程单元之间进行晶片或产品的输送； 维修单元，该维修单元是活动式的，是用以进行该模块式制程单元的维修工作；以及 桥式连接系统，该桥式连接系统是用于不同的模块式制程单元集合之间进行晶片或产品的输送。

【技术特征摘要】
1.一种半导体模块式制造单元系统，其特征在于其包括形成一模块式制程单元，该模块式制程单元包含有独立的洁净室空调系统模块、半导体制程设备或任何制造系统、模块内晶片或产品输送系统，晶片或产品取放系统、电脑控制单元、维修单元连接系统和管路系统，且该数个模块式制程单元可以组合成模块式制程单元集合；形成晶片或产品输送系统，该晶片或产品输送系统包含有晶片或产品匣、搬运车和轨道，于该模块式制程单元之间进行晶片或产品的输送；维修单元，该维修单元是活动式的，是用以进行该模块式制程单元的维修工作；以及桥式连接系统，该桥式连接系统是用于不同的模块式制程单元集合之间进行晶片或产品的输送。2.如权利要求1所述的半导体模块式制造单元系统，其特征在于该模块式制程单元的数目是等于或大于一个。3.如权利要求1所述的半导体模块式制造单元系统，其特征在于该晶片输送系统的数目是等于或大于一个。4.如权利要求1所述的 半导体模块式制造单元系统，其特征在于该维修单元的数目是等于或大于一个。5.如权利要求1所述的半导体模块式制造单元系统，其特征在于该半导体制程设备包括步进机、光阻涂布机、光阻显影机、蚀刻机...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴伯奋，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]