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本发明涉及一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器，包括：图形化后的第二电极层、图形化后的压电层、图形化后的第一电极层、衬底和基底，在衬底和基底上分别制备全反射结构，并在每个第一散热盲孔和每个第二散热盲孔内填充导热散热材料，使本申请...
该专利属于北京航天微电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京航天微电科技有限公司授权不得商用。

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