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半导体器件的金属接触结构及其形成方法技术
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文档序号:3221921
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一种半导体器件的金属接触结构包括:第一导电层;第一导电层上的第一绝缘层;连接至第一导电层的第一接触孔,其形成于第一绝缘层内;形成于第一接触孔内的虚设导电图形,其中,虚设导电图形通过第一接触孔与第一导电层接触,且虚设导电图形覆盖第一绝缘层的一...
该专利属于现代电子产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过现代电子产业株式会社授权不得商用。
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