下载半导体器件的金属接触结构及其形成方法的技术资料

文档序号:3221921

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体器件的金属接触结构包括:第一导电层;第一导电层上的第一绝缘层;连接至第一导电层的第一接触孔,其形成于第一绝缘层内;形成于第一接触孔内的虚设导电图形,其中,虚设导电图形通过第一接触孔与第一导电层接触,且虚设导电图形覆盖第一绝缘层的一...
该专利属于现代电子产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过现代电子产业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。