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半导体器件的制造方法技术
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文档序号:3221908
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一种制造半导体器件的方法,该半导体器件有P型发射极层、N型基极层、P型收集极层、P收集极接触层以及氧化物隔离层,该方法包括下列步骤:在衬底上形成氮化物膜;形成氧化物隔离层;形成P型收集极层;形成收集极接触-基极防止漏电层;形成N型基层;以及...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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