下载多束电子光刻系统的电子柱光学器件的技术资料

文档序号:3221875

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电子柱光学器件包括一个为接收来自一个矩形电子源的电子并用来将电子加速到第一加速度范围所设置的第一电透镜组件;该第一电透镜组件进一步用来基本上补偿由第一加速度产生的像散现象;一个为接收来自第一电透镜组件的电子,并用来将电子加速到第二加速度范围...
该专利属于离子诊断公司所有,仅供学习研究参考,未经过离子诊断公司授权不得商用。

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