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带有侧门（２２０）的托（２００）沿水平位置传送３００ｍｍ的半导体衬底（２５０）。利用侧门（２２０）的密封机构（２２５）产生气密封的小环境。使托（４４０）对准于工具（４３０）。当托被连接于工具时，在托（４４０）与工具（４３０）之间形成间隙（４...
该专利属于摩托罗拉公司所有，仅供学习研究参考，未经过摩托罗拉公司授权不得商用。

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