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文档序号:3221822
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一种集成电路,包括具有基本均匀的栅氧化层厚度的FET和具有增强的栅氧化层厚度的FET。具有增强栅氧化层的FET在贴近增强(较厚)的氧化物处有一层扩散了钾的ONO层,从而有稍微较高的Vt和明显被减弱的软开启。...
该专利属于国际商业机器公司;西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司;西门子公司授权不得商用。
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