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具有电容器的半导体存储器件制造技术
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下载具有电容器的半导体存储器件的技术资料
文档序号:3221760
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一种具有电容器的半导体存储器件,包括一基底、一形成在该基底上的转移晶体管与一与转移晶体管有漏极和源极区之一电连接的存储电容器。存储电容器包含一类树干状导电层、至少一第一类树枝状导电层、一第二类树枝状导电层、一介电层与一上导电层,其中类树干状...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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