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本发明提供了一种快速蚀刻液及其制备方法。快速蚀刻液包括以下含量的各组分:30~150g/L的硫酸,10~50g/L的双氧水,0.1~5g/L的防侧蚀保护剂,0.05~0.5g/L的湿润剂和0.5~20g/L的稳定剂;其中,防侧蚀保护剂包括1...该专利属于深圳市松柏实业发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市松柏实业发展有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种快速蚀刻液及其制备方法。快速蚀刻液包括以下含量的各组分:30~150g/L的硫酸,10~50g/L的双氧水,0.1~5g/L的防侧蚀保护剂,0.05~0.5g/L的湿润剂和0.5~20g/L的稳定剂;其中,防侧蚀保护剂包括1...