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传输半导体晶片的设备制造技术
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下载传输半导体晶片的设备的技术资料
文档序号:3221621
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一种用于从晶片正面装卸半导体晶片的设备,晶片正面上通过半导体晶片的处理形成抛光表面,正面包括外周边缘。所述设备包括具有在保持晶片时用来吸持晶片的尖端部位的抓手,和安装抓手的框架,使抓手确实定位,仅在晶片正面的外周边缘上吸持晶片。该设备还包括...
该专利属于MEMC电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过MEMC电子材料有限公司授权不得商用。
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