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一种异质外延单晶金刚石复制生长方法技术
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文档序号:32216015
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本发明公开了一种异质外延单晶金刚石复制生长方法,在第一异质外延衬底上制备晶向为(001)的第一Ir膜层;在第一Ir膜层的第一表面制备出(001)方向的第一外延金刚石核;使第一外延金刚石核外延生长,在第一Ir膜层的第一表面上形成(001)方向...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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