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本实用新型公开了一种芯片生产用自动检测厚度的光刻机，包括机体，所述机体的底部设置有底座，所述底座的底部固定连接有移动轮，底座顶部的两侧均开设有限位槽，限位槽内腔的底部固定连接有第一弹簧，第一弹簧的顶部固定连接有限位块，限位块的顶部固定连接有...
该专利属于深圳市凯美沃激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市凯美沃激光科技有限公司授权不得商用。

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