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能够不受干燥处理时因清洗液产生的不良影响，而且能够使干燥室的壁厚变薄，并实现使减压用的真空泵等低输出的清洗装置和清洗方法。其构成为能够在把干燥室４２与清洗槽４１各自上下分离的同时，还有能利用旋转门５９ａ和滑动门７２遮蔽干燥室４２的空间和清洗...
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