下载具有双栅极半导体器件的制造方法的技术资料

文档序号:3221522

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制造具有双栅极半导体器件的方法,包括:在第一部分和第二部分的半导体衬底上形成栅绝缘膜;在栅绝缘膜上形成多晶硅层;在第一部分多晶硅层上选择地注入第一导电型掺杂剂;在第二部分多晶硅层上选择地注入第二导电型掺杂剂;选择地蚀刻多晶硅层在第一部分上形...
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